在集成电路多层布线中,通常采用钨插销连接各层布线的最主要原因()
单选题

在集成电路多层布线中,通常采用钨插销连接各层布线的最主要原因()

发布日期:2020-12-11

A.钨的导电率比铝更低

B.钨的刻蚀比铝更容易

C.采用化学气相沉积法制备的钨具有更好的填孔能力

D.钨与硅的接触性能更好

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