集成电路可按晶体管元件的数目分类，其中英文缩写VLSI的含义是大规模集成电路。
分别解释IC、VLSI、ULSI、CMP、CVD、LPCVD、RIE、SOI、ERC、DRC、EXT等的含义。
VLSI对金属化的要求是什么？
开放式体系结构中的VLSI是指（）。
写出下列英文缩写的全称：IC，MOS，VLSI，SOC，DRC，ERC，LVS，LPE。
集成电路的发展时代分为（）、中规模集成电路MSI、（）、超大规模集成电路VLSI、（）。
在VLSI中，为什么要采用Cu互连及多层金属化技术？
同时减小（）与（），可在保持漏源间电流不变的前提下减小器件面积，提高电路集成度。因此，缩短MOSFET尺寸是VLSI发展的趋势。
SSI、MSI、LSI、VLSI、ULSI的中文含义是什么？英文全拼是什么？
VLSI
