与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。

粉末直接压片法工艺比湿法制粒压片法工艺简单，但对物料的成型性有较高的要求。

比湿

比湿。

同一大气的比湿值和混合比值大小是混合比值大。

水汽混合比是指（）的质量与（）的质量比，比湿是指（）的质量与（）的质量比。

若相对湿度f，气压p不变，增温时，绝对湿度a和比湿q前后是否相同？

比湿的含义是（）。

比湿

冷却塔出水温度t一般要比湿球温度τ（）。